Home
Instructions&Guidelines
About Journal
Academic Integrity
Publishing Ethics Statement
Academic Misconduct
Editorial Board
Contact
Chinese
quotation:
[
Copy
]
[
Copy
]
【Print page】
【Download 【PDF Full text】
【
View/Add Comment
】
【
Download reader
】
【
Close
】
←Previous page
|
Page Next →
Back Issue
Advanced search
This Paper:Browse
2748
Download
55
电子工业的新型材料——G21水溶型光致抗蚀干膜
0
Font
large +
|
Default
|
Small
()
摘要
:
本文概述了G21水溶型光致抗蚀干膜(简称G21干膜)光敏性的提高以及干膜光敏性的各种影响因素;介绍了G21于膜的粘结聚合物的改进和胶液组成;文中还讨论了G21干膜的基本性能和应用工艺的问题。
关键词
:
光致抗蚀干膜,研制,应用
DOI：
基金项目
:
()
Abstract
:
Key words
:
